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12月31日，我中心研制的“高端制程掩模基板抛光专用设备”首批量产化合同成功签署。采购方为国内该领域某龙头企业，合同涉及5台设备。这不仅标志着我国在半导体关键制造装备领域迈出了从研发到市场转化的关键一步，更展现了“光电装备概念验证中心”的建设成效。

超前验证护航，推动光电装备实现技术突破与产业化落地

以光为媒，以验为桥，2024年3月，我中心牵头建设的光电装备概念验证中心启动了该设备的验证工作，从技术可行性、知识产权、团队匹配等维度系统评估，筛除产业化风险；同年7月，在此基础上研发基金投入1000万元支持该项目的应用落地，工程团队全程介入。本着“风险前置防控+路径精准指引”的“超前验证”服务模式，深度融合资金、人员、场地等资源要素，与原始技术团队形成合力，加速了该设备从研发到市场的关键进程。

该装备研发初期得到国家某专项的重点支持，并完成了0→1的原始突破。通过概念验证中心的筛选导入，获得了二次培育基金的支持，先后突破了多级矢量耦合路径优化、阵列式承载及纳米级缺陷控制等三个技术难题，围绕设备形成了覆盖设计、工艺、控制等环节的20余项专利技术池，构建了扎实的知识产权体系。合同签署前，为了验证设备稳定性及工艺的可靠性，我中心先后和用户联合开展了5个批次的工艺试验，综合合格率达到100%。

    打破国外垄断，高端掩模基板抛光设备实现国产化突破

掩模版是半导体制造的核心基础材料，其衬底的抛光设备因技术门槛极高、工艺复杂，长期以来几乎被国外企业垄断，导致国内高端制程掩模版上游产业链关键环节存在“断层”，严重制约产业自主可控与安全发展。突破这一瓶颈，不仅关乎单一装备的国产化，更关系到整个国家在高端光掩模领域的战略布局与产业安全。

该型号设备的成功商业化不仅是一款产品的突破，更探索出了一条高端光电装备概念验证的新范式，为我中心后续项目的导入提供了可复制的路径与宝贵经验。

政产学研资协同  共建光电装备概念验证中心 

光电装备概念验证中心聚焦半导体设备、激光设备、精密测量仪器等光电装备与关键技术领域，创造性提出“超前验证”服务理念，以“风险共担+收益共享”的合作模式，深度融合资金、人员、场地，与顶尖原始技术团队形成合力，通过“风险前置防控+路径精准指引”的形式，加速高潜力技术的概念验证与中试进程，以股权共享机制实现技术产业化收益反哺，自我造血，实现驱动产业创新的价值闭环。

光电装备概念验证中心由台州光电产业创新中心牵头，联合台州市产品质量安全检测研究院、台州中科神光科技有限公司共建，构建了覆盖“原理验证-产品与场景验证-技术可行性分析-商业评估-资本对接-产业孵化”的全流程服务体系，有效打通了从基础研发到产业化的关键路径，并于2025年7月入选浙江省首批建设布局清单。