主要功能
多种镀膜制备:为精密光学元件、高精密光通讯产品镀制光学膜,包括金属膜、激光膜、分光膜、增透膜、各种滤光片(紫、红外截止膜)、高反膜等。
主要技术指标
1. 极限真空:8×10-5Pa;
2. 测定波长范围:400nm~1700nm;
3. 半高宽:7nm;
4. 持续稳定运行时间:15h;
5. 脉动含有率:<5%;
6. 工作真空范围:5.0×10-5Pa~7.0×10-2Pa。
主要应用领域
高真空镀膜机是一种用于材料科学、电子与通信技术领域的科学仪器,被广泛应用于半导体、光学、汽车及先进材料等领域的薄膜制备与科研。