应用领域
高端芯片是支撑信息社会发展的最关键电子元件之一。高端芯片的设计、制造、元器件生产与工艺研发需要基础半导体软件工具。本中心研发面向高端半导体芯片制造的软件产品，主要应用于高端光掩模的设计与制造、芯片制造光学邻近效应修正、光源掩模联合优化、量检测设备配套智能检测等领域，并研发设备数字样机、元件物理仿真、工艺的体系化数字建模。形成打通设备、元件、工艺与制造的一体化半导体软件体系。
核心技术
建模仿真
设计数据处理
系统优化
核心团队
预计搭建软件工程师和算法工程师等专业背景团队人才共计约50人左右
致力于打造国家级高端光电装备产业高地
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浙公网安备XXXXXXX号