应用领域
五轴白光干涉仪主要面向先进光学、半导体、消费电子等制造领域，解决曲面光学元件的检测难题。随着光学元件向高性能化、多功能化方向发展，一些元件的设计融合了衍射、反射与折射光学元件表面形貌的特性，以提升光学元件的功能和性能。五轴白光干涉仪的开发将有效解决复杂曲面光学元件的中频形貌和微结构检测的需求，提升精密光学制造能力，提高产品质量和生产效率。
核心技术
1. 高速高精度白光干涉测头
2. 五轴联动运动平台与控制
3. 高精度轴系校准与全局标定
致力于打造国家级高端光电装备产业高地
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