主要功能
激光干涉仪是一种高精度、非接触式的测量工具，用于测量和检测大口径光学元件的面形、透射波前和材料光学均匀性等参数，适用于平面、球体、非球面和自由曲面等多种样品的面形测量。
主要技术指标
1. 工作波长（λ）：632.8nm；
2. 测量口径：100mm，450mm；
3. 透射平面参考镜面形误差（PV）：λ/10；
4. 反射平面参考镜面形误差（PV）：λ/10；
5. 空腔精度（PV）：λ/10。主要应用领域
用于测量和检测大口径光学元件的面形、透射波前和材料光学均匀性等参数。这些元件广泛应用于空间光学、强激光、同步辐射和光刻物镜制造等领域。
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