主要功能
激光干涉仪是一种高精度、非接触式的测量工具，用于测量和检测大口径光学元件的面形、透射波前和材料光学均匀性等参数，适用于平面、球体、非球面和自由曲面等多种样品的面形测量。
主要技术指标
工作波长（λ）：632.8nm
测量口径：100mm，450mm
透射平面参考镜面形误差(PV)：λ/10
反射平面参考镜面形误差(PV)：λ/10
空腔精度(PV)：λ/10
主要应用领域
用于测量和检测大口径光学元件的面形、透射波前和材料光学均匀性等参数。这些元件广泛应用于空间光学、强激光、同步辐射和光刻物镜制造等领域。
致力于打造国家级高端光电装备产业高地
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